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集成電路芯片上的異物可通過(guò)紅外顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。紅外顯微鏡對(duì)分析來(lái)自大氣灰塵中或制作過(guò)程中使用的原材料的有機(jī)異物非常有效。

圖中的異物呈現(xiàn)出特征的酰胺化合物譜峰，表明這個(gè)異物是源于生物的，例如皮膚碎片。

紅外光譜儀－顯微鏡系統(tǒng)

紅外光譜可根據(jù)分子振動(dòng)的特征模式，來(lái)提供樣品分子結(jié)構(gòu)的信息。與紅外顯微鏡配合使用可對(duì)小至10um的微觀(guān)異物進(jìn)行分析。