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這需要在億分之幾 (ppt)的等級(jí)進(jìn)行離子檢測(cè)。這里顯示的是用離子色譜儀對(duì)半導(dǎo)體清洗水中微量離子的分析圖。

離子色譜儀

此分離／分析儀器被廣泛應(yīng)用于無(wú)機(jī)離子的定量分析。抑制型的離子色譜儀允許精確到ppb等級(jí)的超高靈敏度分析。非抑制型離子色譜儀可支持多種應(yīng)用。