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薄膜的橫斷面觀(guān)察最重要的是觀(guān)察膜厚、膜與基板的界面狀態(tài)、薄膜的顆粒性、與不同種類(lèi)薄膜的層間結(jié)合以及擴(kuò)散性。

用掃描探針顯微鏡觀(guān)察氧化硅薄膜橫截面，測(cè)定薄膜厚度約為477nm。同時(shí)可以觀(guān)察到氧化膜內(nèi)顆粒性及膜與基板的界面狀態(tài)。